产品开发背景
随着AI技术在电子设备市场的广泛应用,对半导体制造工艺的微细化和复杂化提出了更高的可靠性要求。尼得科精密检测科技株式会社针对制造现场的挑战,开发了“AURCA”系列外观检测设备,以应对传统图像检测方法难以检测的缺陷和提高良率的课题。
“AURCA”系列的特点
- 高精度缺陷检测(AI图像处理):利用独有的AI算法,能够高精度地检测出传统检测方法难以识别的细微缺陷和异常。
- 全彩色光学检测:基于高水平光学设计的全彩色图像采集,准确捕捉目标物体的材质和高度变化,减少误检。
- 多光源图像单次扫描同时处理:根据待检测缺陷优化配置多个光源进行同步扫描,瞬时检测所有类型的缺陷。
“AURCA”系列提供的价值
“AURCA”系列不仅检测不良品,还通过AI的高级测量和分析数据,为制造现场的良率改善做出贡献:
1. 分析缺陷的“真因”:详细分析AI检测到的缺陷形状和发生趋势,支持阐明“为何会发生该缺陷”的机制。
2. 向制造工序的直接反馈:将分析结果迅速反馈给前道工序,有助于重新审视制造工序和制定预防措施。
3. 实现持续提升良率的循环:通过持续运行“检查→分析→反馈→工艺改进”这一循环,最大限度地提高客户工厂的整体良率,降低制造成本和提高产品可靠性。
